Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии РФ

ЦКП «ВНИИОФИ»
ФГУП «ВНИИОФИ» Центр коллективного пользования
Центр высокоточных измерительных технологий в области фотоники

ГЭТ 186-2010

Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов

Описание:

Эллипсометрия широко используется для исследования физико-химических свойств поверхности, ее морфологии, для измерения толщин многослойных структур и характеризации оптических свойств тонких пленок.

Области применения:

  1. микроэлектроника;
  2. физика твердого тела;
  3. физика поверхности;
  4. материаловедение;
  5. технология оптических покрытий;
  6. химия полимеров и электрохимия;
  7. биология;
  8. медицина

Вид измерений:

  1. эллипсометрия;
  2. фотометрия.

Состав эталона:

  1. Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси;
  2. Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрического угла Дельта.

Год выпуска - 2015
Изготовитель - ФГУП "ВНИИОФИ"

zayavka

Приказ об утверждении ГЭТ 186-2010

Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси

Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрического угла Дельта

ГЭТ 186-2010

Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов

Предназначение:

Эллипсометрия – это совокупность методов изучения поверхности жидких и твёрдых тел по состоянию поляризации светового пучка, отражённого этой поверхностью и/или преломлённого на ней. Падающий на поверхность плоско поляризованный свет приобретает при отражении и преломлении эллиптическую поляризацию вследствие наличия тонкого переходного слоя на границе раздела сред. Зависимость между оптическими постоянными слоя и параметрами эллиптически поляризованного света устанавливается на основании формул Френеля. Измерение параметров эллиптически поляризованного света, отраженного или прошедшего через исследуемый образец, позволяет измерять оптические постоянные и толщину тонких пленок.

В состав эталонной установоки для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси входят:

  1. цифровой спектральный эллипсометр;
  2. эталонные меры эллипсометрических углов в виде эллипсометрических пластинок – кремниевых пластинок с пленкой из двуокиси кремния различной толщины - для контроля стабильности эталона;
  3. цифровая метеостанция для измерения параметров окружающей среды;
  4. системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.

В состав эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи размера единицы эллипсометрического угла Дельта входят:

  1. цифровой поляриметр с вращающимся анализатором;
  2. эталонные меры эллипсометрического угла Дельта в виде четверть -и полуволновых фазовых пластинок нулевого порядка для контроля стабильности эталона;
  3. цифровая метеостанция для измерения параметров окружающей среды;
  4. системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.
ГЭТ 186-2010

Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов

Технические характеристики:

Диапазон значений, воспроизводимых эталоном:
эллипсометрического угла Дельта 0° до 360°
эллипсометрического угла ПСИ 0° до 90°
Среднее квадратическое отклонение результатов измерений, не более:
воспроизведение единицы эллипсометрического угла Дельта 0,02°
воспроизведение единицы эллипсометрического угла Пси 0,01°
Неисключенная систематическая погрешность, не более:
воспроизведение единицы эллипсометрического угла Дельта 0,05°
воспроизведение единицы эллипсометрического угла Пси 0,03°
ГЭТ 186-2010

Государственный первичный эталон единиц эллипсометрических углов

Cостав оборудования:

Подразделение:

Наименование единицы оборудования Марка Изготовитель Страна