Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии РФ

ЦКП «ВНИИОФИ»
ФГУП «ВНИИОФИ» Центр коллективного пользования
Центр высокоточных измерительных технологий в области фотоники

ГЭТ 203-2012

Государственный первичный эталон единицы комплексного показателя преломления

Описание:

Государственный первичный эталон применяют для измерения оптических постоянных n и k тонкопленочных структур, представляющих собой комбинации тонких металлических, диэлектрических и полупроводниковых слоев (пленок) на поверхности полупроводникового кристалла или изолятора, необходимы в микроэлектронике. Контроль технологических параметров (толщина, композиция состава, величина шероховатости) в полупроводниковой наноэлектронике, в рентгеновской оптике, оптике интерференционных покрытий, включающих слои металлов. Комплексный показатель преломления необходимо измерять и учитывать при интерференционных измерениях высоты рельефа и/или толщины в нанометровом диапазоне.

Основные области применения:

  1. микроэлектроника
  2. физика твердого тела
  3. физика поверхности
  4. материаловедение
  5. технология оптических покрытий
  6. химия полимеров и электрохимия
  7. биология, медицина

Измерение комплексного показателя преломления (его составляющих n и k) выполняется с помощью спектрального эллипсометра через измерение эллипсометрических углов. Используются как стандартные модели «Metal Substrates», «Absorbing Thin Films (B-Spline)», так и собственные модели в зависимости от типа подложки (сапфир, ситалл, кремний). Для передачи размера единиц изготовлены эталонные меры комплексного показателя преломления однослойные и многослойные в виде плоских супергладких подложек с пленками различной толщины из разных металлов, полупроводников и диэлектриков, а также массивные заготовки из кремния и других материалов. Для контроля качества мер используются профилометр интерференционный компьютерный (плоскостность) и автоматизированный интерференционный микроскоп (шероховатость).

Государственный первичный эталон состоит из комплекса следующих технических средств и вспомогательных устройств:

  1. цифрового спектрального эллипсометра;
  2. эталонных мер комплексного показателя преломления однослойных и многослойных в виде плоских супергладких подложек с пленками различной толщины из разных металлов, полупроводников и диэлектриков, а также массивные заготовки из кремния и других материалов – для контроля стабильности эталона;
  3. профилометра интерференционного компьютерного для контроля плоскостности рабочей поверхности эталонных мер;
  4. автоматизированного интерференционного микроскопа для контроля параметров шероховатости супергладких рабочей поверхности эталонных мер;
  5. цифровой метеостанции для измерения параметров окружающей среды;
  6. системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.

Год выпуска: 2015
Производитель: ФГУП "ВНИИОФИ"

zayavka

Приказ об утверждении ГЭТ 203-2012

Установка для воспроизведения единиц силы света и светового потока

ГЭТ 203-2012

Государственный первичный эталон единицы комплексного показателя преломления

Технические характеристики:

Диапазон значений комплексного показателя преломления, в котором воспроизводятся единицы, составляет:
для действительной части п (показатель преломления) от 0,5 до 5,0
для мнимой части k (главный показатель поглощения) от 0,01 до 8,0
Среднее квадратическое отклонение:
для действительной части п не более 0,001
для мнимой части k не более 0,002
Неисключенная систематическая погрешность:
для действительной части п не более 0,0007
для мнимой части k не более 0,0004
Стандартная неопределенность измерений оцененная по типу А:
uA(n) 0,001
uA(k) 0,002
Стандартная неопределенность измерений оцененная по типу B:
uB(n) 0,0007
uB(k) 0,0004
Суммарная стандартная неопределенность:
uC(n) 0,001
uC(k) 0,002
Расширенная неопределенность при коэффициенте охвата k = 2:
UР(n) 0,002
UP(k) 0,004
ГЭТ 203-2012

Государственный первичный эталон единицы комплексного показателя преломления

Cостав оборудования:

Подразделение: М-44

Наименование единицы оборудования Марка Изготовитель Страна
- цифрового спектрального эллипсометра; alpha-SE J.A. Woolam Co., Inc. США
- эталонных мер комплексного показателя преломления однослойных и многослойных в виде плоских супергладких подложек с пленками различной толщины из разных металлов, полупроводников и диэлектриков, а также массивные заготовки из кремния и других материалов ФГУП "ВНИИОФИ" Россия
- профилометра интерференционного компьютерного для контроля плоскостности рабочей поверхности эталонных мер; ПИК-30М ФГУП "ВНИИОФИ" Россия
- автоматизированного интерференционного микроскопа для контроля параметров шероховатости супергладких рабочей поверхности эталонных мер; МИА-1М ФГУП "ВНИИОФИ" Россия
- цифровой метеостанции для измерения параметров окружающей среды; ИВА-6Р-Д ООО НПК "МИКРОФОР"
ЗАО НТЦ "Диапром"
Россия
- системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ. ISUS, Formoza Россия
- термогигрометр ИВА-6Р-Д ООО НПК "МИКРОФОР"
ЗАО НТЦ "Диапром"
Россия