• Разрешение: 80 нм
• Стандартные режимы: светлое и темное поле
• Опционально:
  • дифференциальный
  • интерференционный контраст
• Поле зрения: 950 мкм x 750 мкм (объектив 5x)
• Видеокамера: 1280 x 1024 пиксел
• Максимальная толщина образца: 2.5 см
• Скорость сканирования (максимально): 23 мкм/с
• Набор объективов: 5X, 10X, 20X, 50X, 100X

Год выпуска: 2014

Производитель: Veeco Instruments Inc.(Великобритания)