Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии РФ

ЦКП «ВНИИОФИ»
ФГУП «ВНИИОФИ» Центр коллективного пользования
Центр высокоточных измерительных технологий в области фотоники

32 - Nvision 40

  • Электронная пушка – Автоэмиссионный катод типа Шоттки, стабильность пучка по току не хуже 0,2%/час / 0,4%/сутки
  • Ионная пушка – на базе Ga-источника
  • Ускоряющее напряжение электронной пушки: от 100 до 30000 В (шаг 10В)
  • Ускоряющее напряжение ионной пушки: от 2 000 до 30 000 В
  • Сканирование и литография: с разрешением до 50 нм
  • Полный диапазон увеличений: от 12х до 900 000х
  • Разрешающая способность электронной колонны: 0,8 нм при использовании STEM-детекторов
  • Разрешающая способность ионной колонны: 4нм
  • Вакуумная система
    • безмаслянная
    • рабочий высокий вакуум в камере не хуже 2х10-6гПа
    • рабочий высокий вакуум в пушках не хуже 2х10-9гПа

  zayavka

icone pdf Свидетельство об утверждении типа СИ
 
 

 

Год выпуска: 2014

Производитель: Carl Zeiss, Inc. (Германия)

13.png

 


Перейти на страницу лаборатории