Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии РФ

ЦКП «ВНИИОФИ»
ФГУП «ВНИИОФИ» Центр коллективного пользования
Центр высокоточных измерительных технологий в области фотоники

52 Zygo NewView 6200

  • Длина когерентности оптического излучения, мкм: 2,9
  • Диапазон вертикального сканирования, мкм: 150
  • Вертикальное разрешение, нм: <0,1
  • Скорость сканирования, мкм/сек – до 7
  • Расширенный диапазон вертикального сканирования, мм: 15
  • Вертикальное разрешение в расширенном диапазоне, нм: <100
  • Латеральное разрешение, мкм (зависит от объектива): 0,37÷9,5
  • Количество элементов изображения (формат ПЗС-матрицы): 640х480
  • Линейное поле зрения, мм: 0,03÷14

  zayavka

icone pdf Свидетельство об утверждении типа СИ
 
 

 

Год выпуска: 2007

Производитель: Zygo Corporation (США)

27.png

 


Перейти на страницу лаборатории