|
Ионные источники
|
Две ионные пушки типа Пеннинга с сфокусированными электродами |
Угол травления ионным пучком
|
От +10 до -10, каждая ионная пушка имеет независимые установки |
Энергия ионного пучка
|
От 100 В до 8 кВ |
Плотность тока ионного пучка
|
10 мА/см2 |
Настройка ионного пучка
|
Прецизионная настройка по флуоресцентному экрану |
Диаметр ионного пучка
|
Настраивается путем выбора скорости подачи рабочего газа и ионизирующего напряжения |
СТОЛИК ОБРАЗЦОВ
Размер образца
|
3 мм или 2.3 мм |
Держатели образцов
|
Gatan DuoPost для одностороннего и двустороннего ионного утонения двух типов
|
Вращение образца
|
1-6 об/мин, отключаемое |
Модуляция ионного пучка
|
Одиночная или двойная, настраиваемая пользователем |
Перемешение держателя образца
по осям ХY
|
+/- 0.5 мм |
ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА
Вакуумная система
|
Сухая безмасляная. Двуступенчатый диафрагменный насос и турбомолекулярный насос с производительностью 80 л/мин |
Рабочее давление в камере
|
6х10-4 - 8х10-5 Па |
Контроль вакуума
|
Ионизационный с холодным катодом для рабочей камеры.
Полупроводниковый датчик для форвакуумной части системы
|
Система шлюзования образца
|
Gatan Whisperlok. Скорость загрузки образца – менее 1 минуты |
Год выпуска: 2014
Производитель: Gatan (Великобритания)
|
