Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии РФ

ЦКП «ВНИИОФИ»
ФГУП «ВНИИОФИ» Центр коллективного пользования
Центр высокоточных измерительных технологий в области фотоники

35 PIPS II Plus 695


  zayavka

icone pdf Аттестат
   
 

 

Ионные источники


Две ионные пушки типа Пеннинга с сфокусированными электродами

Угол травления ионным пучком


От +10 до -10, каждая ионная пушка имеет независимые установки

Энергия ионного пучка


От 100 В до 8 кВ

Плотность тока ионного пучка


10 мА/см

Настройка ионного пучка


Прецизионная настройка по флуоресцентному экрану

Диаметр ионного пучка


Настраивается путем выбора скорости подачи рабочего газа и ионизирующего напряжения

СТОЛИК ОБРАЗЦОВ

Размер образца


3 мм или 2.3 мм

Держатели образцов


Gatan DuoPost для одностороннего и двустороннего ионного утонения двух типов

Вращение образца


1-6 об/мин, отключаемое

Модуляция ионного пучка


Одиночная или двойная, настраиваемая пользователем

Перемешение держателя образца 
по осям ХY


+/- 0.5 мм

ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА

Вакуумная система


Сухая безмасляная. Двуступенчатый диафрагменный насос и турбомолекулярный насос с производительностью 80 л/мин

Рабочее давление в камере


6х10-4 - 8х10-5 Па

Контроль вакуума

Ионизационный с холодным катодом для рабочей камеры. 
Полупроводниковый датчик для форвакуумной части системы

Система шлюзования образца


Gatan Whisperlok. Скорость загрузки образца – менее 1 минуты

Год выпуска: 2014

Производитель: Gatan (Великобритания)

19.png

 


Перейти на страницу лаборатории