Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии РФ

ЦКП «ВНИИОФИ»
ФГУП «ВНИИОФИ» Центр коллективного пользования
Центр высокоточных измерительных технологий в области фотоники

36 Q150T ES


  zayavka

   
 
icone pdfАттестат

 

Нанесение металлических покрытий путём магнетронного распыления материала мишени.

Стандартный размер мишени:

Ø54 х 0,3 мм

Нанесение углеродного (графитового) покрытия путём распыления углеродных стержней.

Диаметр стержня:

3,05 и 6,15 мм

Габаритные размеры напылительной камеры

- диаметр не менее 150 мм

- высота не менее 125 мм

Давление остаточных газов в напылительной камере

- предельное - не более 5x10-3 Па;

- при распылении - от 5х10-1 Па до 50 Па

Вакуумная система напылительной камеры

- безмасляная;

- насосы: форвакуумный и турбомолекулярный

Год выпуска: 2012

Производитель: Quorum Technologies Ltd (Ангилья)

21.png

 


Перейти на страницу лаборатории