Эллипсометрия широко используется для исследования физико-химических свойств поверхности, ее морфологии, для измерения толщин многослойных структур и характеризации оптических свойств тонких пленок.

Области применения:

1. микроэлектроника;
2. физика твердого тела;
3. физика поверхности;
4. материаловедение;
5. технология оптических покрытий;
6. химия полимеров и электрохимия;
7. биология;
8. медицина

Вид измерений:

1. эллипсометрия;
2. фотометрия.

Состав эталона:

1. Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси;
2. Эталонная установка для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрического угла Дельта.

Эллипсометрия – это совокупность методов изучения поверхности жидких и твёрдых тел по состоянию поляризации светового пучка, отражённого этой поверхностью и/или преломлённого на ней. Падающий на поверхность плоско поляризованный свет приобретает при отражении и преломлении эллиптическую поляризацию вследствие наличия тонкого переходного слоя на границе раздела сред. Зависимость между оптическими постоянными слоя и параметрами эллиптически поляризованного света устанавливается на основании формул Френеля. Измерение параметров эллиптически поляризованного света, отраженного или прошедшего через исследуемый образец, позволяет измерять оптические постоянные и толщину тонких пленок.

В состав эталонной установоки для воспроизведения, хранения и передачи размера единиц эллипсометрических углов Дельта и Пси входят:

1. цифровой спектральный эллипсометр;
2. эталонные меры эллипсометрических углов в виде эллипсометрических пластинок – кремниевых пластинок с пленкой из двуокиси кремния различной толщины - для контроля стабильности эталона;
3. цифровая метеостанция для измерения параметров окружающей среды;
4. системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.

В состав эталонной установки для воспроизведения, хранения и передачи размера единицы эллипсометрического угла Дельта входят:

1. цифровой поляриметр с вращающимся анализатором;
2. эталонные меры эллипсометрического угла Дельта в виде четверть -и полуволновых фазовых пластинок нулевого порядка для контроля стабильности эталона;
3. цифровая метеостанция для измерения параметров окружающей среды;
4. системы сбора и обработки измерительной информации на базе персональной ЭВМ.